真空烘干机
面向清洗后的液冷板和复杂内流道部件，通过真空降沸点、整体加热和残余湿度闭环判断实现低残留干燥。
产品优势
低温沸腾干燥
真空环境降低水的沸点，减少高温对工件和密封材料的影响。
整体均匀加热
箱体整体加热配合温度多点监测，提高批次一致性。
湿度闭环判定
根据残余湿度或水汽变化趋势自动判断干燥完成。
自动工艺配方
抽真空、升温、保温、再抽真空和排气自动执行。
洁净真空系统
干式螺杆真空泵及气液分离、冷凝回收，降低返油污染。
报告与追溯
温度、真空、湿度、时间曲线自动保存并生成报告。
技术参数
| 设备名称 | 真空烘干机 |
| 适配工件 | 服务器 CPU/GPU 液冷板、储能水冷板带接头 |
| 适用工艺 | 清洗后深度除水、制程除湿、封装前真空干燥 |
| 整机电源 | AC380V 3 相 5 线，总装机功率 10~22kW |
| 工作环境 | 常温车间 10~40℃，无特殊恒温无尘要求 |
| 最高烘烤温度 | 150℃ |
| 空箱升温时长 | 空箱升温至额定温度≤20min |
| 常用工艺温度区间 | 40~120℃连续可调，精准恒温 |
| 腔体温度均匀性 | 整腔温差 ≤±4℃ |
| 控温精度 | ±0.5℃ |
| 加热结构 | 箱体整体加热 |
| 极限真空度 | ≤600Pa（绝压），支持深度高真空定制 |
| 有效抽气速率 | 15~80 m³/min，可按需扩容 |
| 极限残留水汽分压 | 可快速降低至水沸点以下，实现低温沸腾烘干 |
| 烘干判定逻辑 | 进出口残留湿度闭环在线检测，达标自动停机 |
| 残留水分控制 | 烘干后内部残留水分＜行业管控标准 |
| 烘干节拍 | 常规工件完整烘干周期 15~45min / 批次 |
| 干燥一致性 | 同批次工件干燥均匀，无局部存水死角 |
| 主控系统 | 上位机 + 显示屏 |
| 运行模式 | 全自动抽真空→升温→保温→抽真空→判断合格→停机排气 |
| 实时监测 | 温度、真空度、湿度、时间全程动态曲线 |
| 配方管理 | 多型号工艺参数存储，一键调用快速换线 |
| 数据追溯 | 自动生成烘干报告，支持导出 Excel/PDF |
| 拓展对接 | 支持扫码追溯、MES 系统联网、产线自动化集成 |
| 腔体材质 | 304/316 不锈钢加厚真空腔体，防锈耐腐蚀 |
| 真空机组 | 干式螺杆真空泵 + 前级泵组合，低水汽耐受、无返油污染 |
| 防护配置 | 超温、超压、缺水、故障自动报警 + 紧急停机 |
| 附属系统 | 前置气液分离器 + 冷凝器，水汽集中回收，保护真空泵 |
| 工艺匹配 | 完美匹配液冷板清洗后→烘干→气密 / 流阻全流程产线 |
| 量产稳定性 | 可 24 小时连续不间断稳定量产运行 |
| 尺寸规格 | 长宽高：2300X1400X2200 |
* 以上参数为标准机型配置，其他特殊需求可定制。
适用产品
暂无图片
CPU/GPU液冷板暂无图片
储能水冷板暂无图片
Manifold分歧管暂无图片
复杂内腔部件暂无图片
封装前工件测试流程
工件装篮
腔门联锁
预抽真空
升温与保温
深度抽真空
湿度判定
冷却排气
报告与出料
上位机界面 / 数据追溯
多型号参数配方存储与一键调用
压力、流量、温度、真空度及时间曲线实时显示 -
自动OK/NG判定及不良锁存 -
条码绑定、历史查询和权限管理
自动生成PDF、Excel或CSV报告
支持MES、ERP及客户数据库接口
可选配置
高温120℃模块
深度高真空机组
氮气破真空
冷凝水计量
自动门与物流对接
MES/扫码追溯
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